高純水pH分析儀(見圖2-16)的監(jiān)測過程為：水樣先流過高純水傳感器的流通池，再流經(jīng)流量計，最后流出而板。其中流量計將樣品流入流通池的流速控制在0~300mL/min的范圍內(nèi)。傳感器通過單獨的線纜將毫伏信號和溫度信號傳送到接線盒，接線盒將模擬的pH信號和溫度信號翻譯成數(shù)字信號。最后由數(shù)字控制器顯示出 pH值和溫度值。
                 
        高純水pH分析儀與普通條件下應(yīng)用的pH分析儀有很大的不同，高純水pH分析儀系統(tǒng)是專門為了純水和超純水的連續(xù)測量而設(shè)計的。它使用的參比電極類似于測量電極（PH電極），可以將測量的阻抗最小化。本體是316L不銹鋼材質(zhì)，可以保護測量不受靜電和磁力擾動的影響。循環(huán)室的沒計中沒有保留區(qū)，這樣可以避免C0₂的分解、氣泡的聚集或下溶沉淀聚集物(氧化鐵、樹脂鹽析的殘留物等)的干擾。
       高純水pH分析儀采用的是自加壓參比電極，將恒定流速的電解液引入樣品流中。這種 流速恒定的電解液可以減少電解液振動的影響，電解液振動會引起參比連接電勢的相移動。此外，電極（PH電極）安放在一個特殊的不銹鋼機箱和獨特的導(dǎo)電流通池中，可以在最大程度上減少流 動電流的影啊.流動電流會導(dǎo)致高純水中的pH值的測量產(chǎn)生漂移。